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自动探针台
- 制造厂商：TSK
- 购置日期：2010-12-27
- 型号：UF3000EX-e
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 300mm测试探针台，最大工作误差小于2um，用于每片12英寸晶圆上的各个芯片的电信号的检测来保证半导体产品的品质。
- 主要附件： HF翻转系统
- 主要技术指标： 最大晶圆300mm，最大误差2um，平台承重200kg，先进的光学识别系统
- 技术特色： "OTS？D最新的定位技术（光学定位），S通过照相机对相关位置的测量来来保证绝对的精度，OTS成为自我相关的对准光学系统。
QPU？D极高刚性的承载台(四支点系统)，采用新的技术使用4个轴驱动Z轴移动（QPU），实现高刚性，高稳定的探针接触。
提供令客户满意的公共平台8英寸及12英寸从前部的搬送平台。设备并完全符合美国物料搬送协会的标准。
TTF（点那里移动到那里）
追求更好的操作性，采用了新的功能，在这个显示屏显示的范围内，点到任何的区域，承载台就移动到该区域，设置非常的简单，屏幕显示菜单的项目
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