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自动探针台
- 制造厂商:TSK
- 购置日期:2010-02-22
- 型号:UF3000
- 生产国别:
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- 功能/应用范围: 12英寸全自动集成电路测试,用于8-12英寸晶圆测试。
- 主要附件: Tester head hinge
- 主要技术指标: UF3000是目前国际上最先进的12英寸全自动探针台。
主要指标:误差-2~2um,测试晶圆8-12inch。
- 技术特色: UF3000是目前最先进的12英寸晶圆测试设备,采用OTS光学自动对准,提供优异的移动精度,操作方便灵活、提供inkless map、multi site测试等功能,是12英寸晶圆测试的最佳选择。