中国上海测试中心(上海市计量测试技术研究院) 服务数: 20 好评率:99.13% 成交量:374
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原子力显微镜
资产编号: 20080012
制造厂商: 美国维易科(Veeco)精密仪器有限公司
生产国别:
分类编码: 010803
购置日期: 2007-04-29
规格型号: MULTIMODE &DIMENSION 3100
仪器加盟状态: 正常

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20 99.13% 374
服务数 好评率 成交量
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详细信息与指标

资产编号: 20080012
制造厂商: 美国维易科(Veeco)精密仪器有限公司
生产国别:
分类编码: 010803
购置日期: 2007-04-29
规格型号: MULTIMODE &DIMENSION 3100
仪器加盟状态: 正常
功能/应用范围: 可用来测量刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面特性。利用SCM(扫描电容显微术)模块可以测量半导体材料的掺杂浓度,禁带宽度等。
主要附件: /
主要技术指标: 扫描范围: 150mm×150mm×25mm (XYZ) 噪声水平: ≤0.3 Å 分辨率: 可持续稳定得到云母片原子像
技术特色: 原子力显微镜的基本原理是:将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定,另一端有一微小的针尖,针尖与样品表面轻轻接触,由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力,通过在扫描时控制这种力的恒定,带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。利用光学检测法或隧道电流检测法,可测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化,从而可以获得样品表面形貌的信息。
服务实例: 暂无
提示: 按照法律法规或者强制性标准要求必须开展的强制检测和法定检测等商业活动,不纳入上海科技创新券的支持范围