检测能力 | 检测标准 | 标准编号 | 限制范围 | 资质说明 | |||||
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导电类型 | 非本征半导体材料导电类型测试方法 | GB/T 1550-1997 | |||||||
基磷电阻率 | 硅多晶气氛区熔基磷检验方法 | GB/T 4059-2007 | |||||||
参考面长度 | 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法 | GB/T 13387-2009 | |||||||
表面质量 | 锗单晶和锗单晶片 | GB/T5238-2009 | |||||||
表面质量 | 电子级多晶硅 | GB/T12963-2014 | |||||||
少数载流子寿命 | 非接触微波反射光电导衰减测试硅晶片载流子复合寿命的方法 | SEMIMF 1535-1106 | |||||||
氧浓度 | 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 | GB/T 1557-2006 | |||||||
外延层厚度 | 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 | GB/T 14847-2010 | |||||||
基体金属杂质含量 | 高分辨率辉光放电质谱法测量太阳能电池硅材料中痕量元素的方法 | SEMI V1-0709 | |||||||
碳浓度 | 红外吸收法测试硅中替位碳原子含量 | SEMI MF1391-1107 | |||||||