检测能力

• 开封试验
  能力名称：开封试验

  一级类别：

  二级类别：

  标准名称/编号：军用电子元器件破坏性物理分析方法/GJB4027A-2006

  限制说明：只做：2.5.2.4.1、2.5.2.4.4、2.5.3

  资质说明：
• 扫描电镜测量
  能力名称：扫描电镜测量

  一级类别：

  二级类别：

  标准名称/编号：纳米级长度的扫描电镜测量方法通则/GB/T 20307-2006

  限制说明：/

  资质说明：
• 扫描电镜测量
  能力名称：扫描电镜测量

  一级类别：

  二级类别：

  标准名称/编号：金属覆盖层厚度测量扫描电镜法/GB/T 31563-2015

  限制说明：/

  资质说明：
• 开封试验
  能力名称：开封试验

  一级类别：

  二级类别：

  标准名称/编号：微电子器件试验方法和程序/GJB548B-2005 方法2010.1

  限制说明：

  资质说明：
• 二氧化硅膜厚测量
  能力名称：二氧化硅膜厚测量

  一级类别：

  二级类别：

  标准名称/编号：椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法/GB/T 31225-2014

  限制说明：只测： 10nm～1000nm

  资质说明：
• 能谱分析
  能力名称：能谱分析

  一级类别：

  二级类别：

  标准名称/编号：微束分析 能谱法定量分析/GB/T 17359-2012

  限制说明：只测：元素C~U

  资质说明：
• 俄歇电子能谱分析
  能力名称：俄歇电子能谱分析

  一级类别：

  二级类别：

  标准名称/编号：俄歇电子能谱分析方法通则/GB/T 26533-2011

  限制说明：只测：元素Li~U

  资质说明：
• 扫描电镜测量
  能力名称：扫描电镜测量

  一级类别：

  二级类别：

  标准名称/编号：微米级长度的扫描电镜测量方法通则/GB/T 16594-2008

  限制说明：/

  资质说明：