金属材料
金相分析
放大倍数：5×~1000,000×
加速电压：0.2kV－30kV
探针电流范围：0.5 pA~5 μA
聚焦工作距离：2mm~145mm
样品室真空度（低真空模式）：10-400Pa
样品台马达移动范围： 130mm（X方向），130mm（Y方向），50mm（Z方向），
-10°至90°（倾斜），360°（旋转）
可放置的最大样品尺寸：直径300mm，高度210mm
样品水平移动最大允许样品重量： 5kg
元素分析范围：Be（4）~PU（94）
能量分辨率(Mn-Ka)：优于127Ev
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