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激光干涉仪

  • 制造厂商：德国aixACCT
  • 购置日期：2012-11-01
  • 型号：SP-S
  • 生产国别：
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： 微位移及形变测量
  • 主要附件： 100 V 高压放大器；带温控的薄膜样品夹具，可以加热至200 oC
  • 主要技术指标： 最小分辨率0.3 nm
  • 技术特色： 微位移及形变测量，可实现微小位移的精确测量，响应快。