只有通过实名认证的机构用户,才可以进入管理后台哦。

知道了 升级为机构用户

极化材料与器件教育部重点实验室极化材料与器件教育部重点实验室

收藏仪器
分享到：

原子层沉积仪

  • 制造厂商：Picosun
  • 购置日期：2009-03-01
  • 型号：Sunale
  • 生产国别：
免费咨询

仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： 超薄氧化物薄膜生长； High－K栅介质
  • 主要附件： loadlock进样器
  • 主要技术指标： 生长盘尺寸100mm； 加热源数量：2 液体源数量：1 氧源：水/臭氧
  • 技术特色： 基于表面吸附的自限制原理，薄膜厚度精确可控。