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上海新微技术研发中心有限公司上海新微技术研发

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扫描电子显微镜

  • 制造厂商:德国蔡司
  • 购置日期:2000-01-01
  • 型号:Zeiss Merlin Compact
  • 生产国别:
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仪器详情
  • 功能/应用范围: 微结构观察 材料分析
  • 主要附件: 能谱仪EDX 镀膜仪
  • 主要技术指标: 分辨率:0.8nm@15kv;1.6nm@1kv 放大倍率:12-2,000,000x 探测器:In-lens SE;ETSE 五轴电动样品台:X=130mm;Y=130mm;Z=50mm;T=-3º~70º;r=360º 样品室尺寸:330mm(Φ)* 270mm(h) 图像处理:最大至32k×24k像素
  • 技术特色: 1.ZEISS的MERLIN Compact场发射扫描电镜全部采用新一代专利镜筒(GEMINI)设计,具有优良的高、低加速电压性能。 2.创新的InlensDuo探测器设计是目前世界上唯一真正的内置镜筒电子束光路上的探测器,其具有最佳的灵敏度和最高的接收效率,而且可接收来自样品表面的二次电子和背散射电子,因此具有业界最高等级的分辨率和图像质量,试样的工作距离不受背散射探测器的影响,可以非常接近极靴,这样可以获得最高的二次电子像分辨率和背散射电子像分辨率,且接收的背散射电子的能量可以控制。 3.创造性的采用