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上海新微技术研发中心有限公司上海新微技术研发

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MEMS晶圆测试系统（探针台）

  • 制造厂商：美国 Solidus
  • 购置日期：2000-01-01
  • 型号：Solidus STI3000
  • 生产国别：
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： 进行加速度、陀螺仪、麦克风、气压等电容式传感器的晶圆级测试 测试静态和动态参数
  • 主要附件： Electro glass Wafer Handler Model EG2001
  • 主要技术指标： STI3000 High Performance Wafer Probe Test System Electroglass Wafer Handler Model 2001 STI Custom Production Test Code STI System Integration Device Specific Probe Cards (PCB only)
  • 技术特色： 通过静电力驱动，测试MEMS传感器的动态参数。