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高阶埃克斯光检测系统
- 制造厂商：DAGE
- 购置日期：2015-06-11
- 型号： XD7600NT Diamond
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 集成电路失效分析
- 主要附件： 无
- 主要技术指标： 具有 0.1 µm 的特征识别级别和最高 10 W 的功率，并配有 200 万像素 XiDAT3 数字图像探测器
- 技术特色： * Nordson DAGE NT100 免维护、密封传送型 X 射线管
* 经受检验的 < 0.1 µm 特征识别
* 160 kV 管，最高功率可达 10 W，始终保持亚微米级分辨能力
* Nordson DAGE 200 万像素 @ 25fps XiDAT3 数字图像增强器，实现实时图像增强
* 2,000 倍几何放大，12,000 倍系统放大，数字缩放实现总计 60,000 倍放大
* 最大板尺寸为 29” x 22.8” (736 x 580 mm)
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