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透射电子显微镜
制造厂商:FEL
购置日期:2016-01-08
型号:Talos
生产国别:
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功能/应用范围: 集成电路及其它的材料分析
主要附件: 无
主要技术指标: Maximum accelerating voltage of 200 kV Constant power A-TWIN objective lens X-FEG field emission source; brightness 1.8?á109 A/cm2 srad (at 200 kV) Total beam current >50 n
技术特色: Talos 可以在多个维度开展快速、精确、量化的材料表征分析,而且配备了全新的软件功能,能够改善成像效果和易用性。Talos 将出众的高分辨率 S/TEM 和 TEM 成像与行业领先的 EDS 性能(包括独一无二的 EDS 断层扫描技术)融为一体,能够以二维图像和三维容积的形式提供结构信息。创新的新软件拓宽了可以分析的材料范围,同时全新的 Ceta 16M 摄像头可迅速从大视场切换到原子级别。全新的压电工作台可确保实现无漂移成像和精确导航。而且,Talos 还预留了配件接口,可以配备特定于应用的原位样本支
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