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闳康技术检测(上海)有限公司闳康技术检测(上海)

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高性能双束聚焦离子束显微镜

  • 制造厂商：FEI
  • 购置日期：2016-01-08
  • 型号：Helios 660
  • 生产国别：
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： TEM样品制备及集成电路截面分析
  • 主要附件： 无
  • 主要技术指标： Extreme high resolution (XHR) with sub-nanometer resolution from 500 V to 30 kV
  • 技术特色： Helios NanoLab 是一款极其灵活的平台，既能以极高的效率制备 TEM 样本，又能开展高性能低电压成像以分析高级逻辑和存储器件。Helios Nanolab 具有大型和小型样本室两个配置，效率极高，并且是面向实验室和近生产环境的低每样本成本半导体分析工作流的关键组成部分。