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六硼化镧扫描电子显微镜
- 制造厂商：TESCAN
- 购置日期：2000-01-01
- 型号：VEGA 3 XMU
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 用于固体材料（主要是金属，半导体，岩石及生物样品等）的表面形貌观察。其分辨率可以达到纳米级，即可以得到几万倍的固体表面精细的微区图像。主要用于微区分析。
- 主要附件： SE检测器，BSE检测器，LVSTD检测器，高真空模式，低真空模式，60平方电制冷EDX，超大样品室
- 主要技术指标： 电子枪： 六硼化镧（LaB6）
高真空模式（二次电子）分辨率：2 nm @ 30 kV，5 nm @ 3 kV
低真空模式（背散射电子，LVSTD）分辨率：2.5 nm @ 30 kV
放大倍数：1 - 1,000,000
加速电压： 200 V - 30 kV
探针电流： 1 pA - 2 A
低真空压力范围：3～500Pa
样品台：五轴优中心马达驱动样品台
扫描速度：从20ns/像素到10ms/像素,可逐步或联系可调
图像尺寸：最大像素可达16,38
- 技术特色： SEEM TEM 超薄切片
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