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台阶轮廓仪
- 制造厂商：KLA-Tencor Corp.
- 购置日期：2000-01-01
- 型号：AlphaStep D-600
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 台阶轮廓仪可测量各种透明或不透明的薄膜，是薄膜厚膜工艺研究的必备手段，可测量薄膜膜厚，测量薄膜应力，测量薄膜粗糙度轮廓，测量大范围的平整度，翘曲度，测量MEMS等各种微纳器件的三维结构。
- 主要附件： 探针
- 主要技术指标： 0.03mg的超微力技术; 亚埃级的高分辨率；150x150mm的平晶作为扫描基准；闭环运动控制和测量。
- 技术特色： 材料制备与分析
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