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聚焦离子束显微镜
- 制造厂商：FEI
- 购置日期：2000-01-01
- 型号：V400ACE
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： V400ACE™ 聚焦离子束（FIB）系统采用了离子镜筒设计、气体输送和端点探测领域的最新发展成果，可实现对高级集成电路的快速、高效和具备成本效益的电路编辑。
- 主要附件： 电脑工作站
- 主要技术指标： 加速电压：0.5kV-30kV
射束电流：1.1pA-65nA
图像分辨率：4.5nm
- 技术特色： 快速精确的芯片电路修改可实现在数小时内实现设计更改.
快速准确的芯片横切面处理可迅速揭示缺陷和表面下方特征.
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