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上海新微技术研发中心有限公司上海新微技术研发

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反应例子刻蚀系统

  • 制造厂商：Samco
  • 购置日期：2000-01-01
  • 型号：RIE-10NR
  • 生产国别：
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： 刻蚀钝化材料如氮化硅、二氧化硅和氧氮化硅； 微型机械的生产； 失效分析
  • 主要附件： 无
  • 主要技术指标： 高选择比各向异性刻蚀； 具有全自动以及全手动操作模式可供调整； 具有碰触屏使数值输入以及工艺配方的储存更容易； 最大可处理直径8英寸晶片； 紧凑型设计可节省无尘室空间
  • 技术特色：