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三离子束切割仪
- 制造厂商：Leica
- 购置日期：2000-01-01
- 型号：Leica EM TIC 3X
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 备横切面和抛光表面。
用于扫描电子显微镜 (SEM)、微观结构分析 (EDS、WDS、Auger、EBSD) 和 AFM 科研工作。
- 主要附件： 无
- 主要技术指标： 适用于多层膜材料、软硬复合材料等高难度材料，可有效避免涂抹效应，暴露样品细微结构
可容纳最大样品尺寸50×50×10mm
三把离子枪，离子束能量1keV 10keV，切割速率150μm/h(Si@10kV,50μm切割高度）
离子束处理过程中样品位置固定，无需偏转运动，无投影效应，热传导性好
可进行离子束切割或刻蚀，可选择任意离子枪
- 技术特色：
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