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微流控芯片制备湿法刻蚀设备

  • 制造厂商：沈阳芯源微电子有限公司
  • 购置日期：2016-09-16
  • 型号：KS-M200-1E
  • 生产国别：
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： 本设备需实现200mm方片基板的刻蚀、清洗，实现高精度线宽控制、大宽长比、高均匀性侧壁断面控制等多方面性能要求。
  • 主要附件： 整机一台
  • 主要技术指标： 刻蚀均匀性指标：刻蚀ITO≤a±3%，刻蚀Mo≤a±5%，初始均匀性为a。
  • 技术特色：