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原子力显微镜
- 制造厂商：Nanosurf
- 购置日期：2000-01-01
- 型号：NaniteAFM
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 可检测光栅等样品的周期性宽度与深度；可检测镀膜样品等的表面形貌、粗糙度以及膜厚等；可检测光学元件高频段的粗糙度。
- 主要附件： 0
- 主要技术指标： 1、样品台尺寸：不小于500(L)x200(W)x150(H)mm 2、Z向噪声水平（RMS，动态力模式）：10μm*10μm 时< 0.06 nm；100μm*100μm时< 0.3 nm 3、最大Z范围：10μm*10μm 时2μm；100μm*100μm时15μm
- 技术特色： 0
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