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光谱型成像椭偏仪
- 制造厂商：德国欧库睿因
- 购置日期：2000-01-01
- 型号：Nanofilm_EP4SE
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 1、可测量诸如薄膜厚度、折射率和吸收系数等参数；
2、可对薄膜进行区域化（选区）分析，获得所选区域的成像分析图；
- 主要附件： 0
- 主要技术指标： 1、椭偏仪类型：PCSA（偏光镜-补偿镜-样品-分析镜）架构自动消光型成像椭圆偏振仪
2、成像光学系统：10倍物镜（图像宽度400μm，横向分辨率2μm）
3、自动转角仪：入射角范围38°-39°；角度分辨率：0.001°；绝对角精度：0.01°；
转动速度：~5°/秒
4、Z轴自动升降系统：行程：12cm；可重复性：1μm；分辨率：0.5μm
5、探测器相机：1392x1040像素；12位；最高40帧/秒
6、样品对准传感器：倾转轴精度0.001°；Z轴对准分辨率
- 技术特色：
收藏仪器
