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能谱仪
- 制造厂商:Oxford公司
- 购置日期:2013-08-20
- 型号:Aztec X-Max 80
- 生产国别:
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- 功能/应用范围: 扫描电子显微镜利用二次电子信息可以对各种材料进行表面观察与分析,在新型材料学科领域中广泛应用。扫描电子显微镜可以可通过配备EDS能谱仪,进行材料元素的加工和分析, 也可通过配置静电电子束闸进行EBL电子束曝光等工作。
- 主要附件: 无
- 主要技术指标: 分辨率:3nm@30KV。 加速电压:0.2KV-30KV。 放大倍数:7-1000000倍 最大样品高度:100mm。 最大样品直径:200mm
- 技术特色: