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场发射扫描电子显微镜-聚焦离子束系统
- 制造厂商：卡尔蔡司
- 购置日期：2017-08-15
- 型号：Zeiss Crossbeam 540
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 1、高分辨二次电子图像；
2、 高分辨背散射电子图像；
3、三维重构成像；
4、三维空间材料组成及分布；
5、 三维孔隙分布、连通性、孔径及孔隙度；
6、元素组成与含量( EDS)分析；
7、透射电镜样品制备；
8、纳米加工(沉积、刻蚀)
- 主要附件： 能谱仪一套；纳米机械手一支；主动式防震台一个；紧急稳压电源（UPS）一个；直流交流消磁器一台；光学显微镜一台
- 主要技术指标： 1、聚焦离子束: 分辨率， 3 nm @30kV；可用离子束流，1 pA–100 nA； 加速电压, 0.5-30 kV
2、场发射扫描电镜:分辨率, 0.9 nm @15 kV; 1.8 nm @1 kV；加速电压, 0.02-30 kV；放大倍数, 12X-2,000,000X；配置5个探测器, 包括InLens，EsB，SE，BSD，EDS；
3、五支气体注入系统： XeF2，Pt，C，Si， H2O
- 技术特色：
收藏仪器
