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场发射聚焦离子束电子显微镜

  • 制造厂商：FEI
  • 购置日期：2016-08-09
  • 型号：Hellios G4 UX
  • 生产国别：美国
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： SEM EDS EBSD 微纳加工 透射电镜制样
  • 主要附件： EDS、EBSD、纳米机械手
  • 主要技术指标： Ion beam system Sourece：liquid Ga； Resolution：≤2.5nm @ 30kV GIS system Pt、C、W、SiO2 SEM system Schottky thermal field emmision gun（ZrO/W） Resolution: ≤0.6nm @ 15kV, ≤0.7nm @ 1kV, ≤1.0nm @ 500V STEM resolution：≤0.6nm @ 30Kv