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超高分辨热场发射扫描电子显微镜

  • 制造厂商：日本 JEOL
  • 购置日期：2015-04-17
  • 型号：JSM-7800F Prime
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仪器分类

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仪器详情
  • 功能/应用范围： 材料表面的微形貌高分辨观察
  • 主要技术指标： 分辨率：0.7 nm (15 KV)， 0.7 nm（1 KV）， 3.0nm （5 KV、WD10 mm、5 nA）； 加速电压：0.01 KV~30 KV； 偏压：0~5 KV； 电子枪：In-lens Schottky Plus field emission scanning electron gun； 5轴马达。