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热发射扫描电子显微镜
- 制造厂商：TASCAN
- 购置日期：2018-02-02
- 型号：VEGA 3 XMU
- 生产国别：捷克共和国
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- 功能/应用范围： 热发射扫描电子显微镜具有超大样品仓、超大景深、真空度低及操作简单等特点，可以对大块样品、导电性能差的材料及生物样品进行观察，解决超大器件分析难及不导电样品引起的荷电问题，广泛应用于生命科学、物理、化学、环境、医药及材料等多个领域。
- 主要附件： 能谱、电子背散射仪等
- 主要技术指标： 1.分辨率：SE分辨率达到或优于2 nm @ 30 kV;
BSE分辨率达到或优于4 nm @ 30 kV;
低真空SE分辨率达到或优于4 nm @ 30 kV；
低真空BSE分辨率达到或优于4 nm @ 30 kV。
2.探测器：SE, BSE, LVSE；图像观察模式：SE、BSE、LVSE、LVBSE；电动马达控制低能量背散射探测器。
3. 样品台类型：五轴马达驱动样品台；
样品台行程：X 和Y ≥ 100mm，Z ≥ 80 mm;
样品台倾斜范围：T ≥ -10° to 90°;
R = 360°。
4. 样品台最大承重≥5 Kg。
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