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离子束微纳加工系统
- 制造厂商：ADVANCED
- 购置日期：2009-06-15
- 型号：LDJ-F100
- 生产国别：中国
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- 功能/应用范围： 1. 沉积各类金属薄膜；
2. 磁性材料沉积需与平台联系确认。
- 主要技术指标： 1.极限真空：9´10-5Pa
Ultimate vacuum: 9´10-5 Pa
2.刻蚀均匀性与重复性：3英寸衬底均匀性优于±5% ，重复性优于±5%
Thickness non-uniformity: better than ±5% on 3” substrate.
Thickness repeatability: better than ±5%
3.刻蚀速率:200nm/min
Etching rate: 200nm/min
4.基片尺寸：≤4英寸
Substrate: 4” and below
5.刻蚀气体：Ar
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