扫描电子显微镜 _{型号S-3400N}_上海海洋大学（原上海水产大学）

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扫描电子显微镜

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功能/应用范围：日立扫描电子显微镜S-3400N ，具有新研制的电子光学系统和自动化功能，革命性自动轴对中功能（自动光束对中，自动合轴等）， 3kV 10nm分辨率，性能优。采用TMP分子泵真空系统。
主要技术指标： SE分辨率 3.0nm (30kV)，高真空模式；10nm (3kV), 高真空模式 BSE分辨率 4.0nm (30kV)，低真空模式放大倍率 x5 ~ x300,000 加速电压 0.3 ~ 30 kV 低真空范围 6 ~ 270 Pa zui大样品尺寸直径200mm 样品台： I型 II型 X 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm Y 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm Z 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm R 360o 360o T -20o~ +90o -20o ~ +90o zui大样品高度 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) 驱动类型手动五轴马达驱动灯丝预对中钨灯丝物镜光栏可移动式4孔物镜光栏枪偏压固定比例偏压、手动偏压和自动4偏检测器二次电子检测器高灵敏度半导体背散射电子检测器分析位置 WD=10mm, TOA=35o 自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦消像散、自动亮度对比度