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上海交大泰阳绿色能源有限公司上海交大泰阳绿色能源

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椭偏仪

  • 制造厂商：SENTECH
  • 购置日期：2007-03-19
  • 型号：SSE400 ach
  • 生产国别：
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： 薄膜材料，块体材料都可以
  • 主要附件： 真空泵一台，电脑一台，
  • 主要技术指标： 利用线偏振光经样品反射后转变为椭圆偏振光这一性质以获得样品的光学常数的光谱测试方法，椭偏仪即采用椭偏术原理。 波长： 632.8 nm 氦氖激光器 (Class 1 device) 膜厚测量精度： 0.1 Å for 100 nm SiO2 on Si 折射率测量精度： 5x10-4 for 100 nm SiO2 on Si 透明薄膜的厚度范围： 最大4 μm 弱吸光性薄膜厚度范围(多晶硅)： 最大2 μm
  • 技术特色： 由于拥有强大的材料数据库，建立或更改一个测量Recipe非常轻松。只需按照名称选取材料，就能够更改基底、环境和膜层的光学常数。 通过比较测量结果和材料的理论光学常数，能够评价膜层的质量。