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聚焦离子束

  • 制造厂商：FEI
  • 购置日期：2008-05-01
  • 型号：9500
  • 生产国别：
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： 微观观察，IC电路修补，横截面分析，Voltage contast
  • 主要附件： IEE,EE,DE,IDEP gas
  • 主要技术指标： 分辨率3nm
  • 技术特色： 在IC设计方面，进行设计中存在的Bug进行去除，或者进行电路修补；在失效分析时，进行Cross-section分析，为TEM制样