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超声波扫描显微镜
- 制造厂商：SONOSCAN
- 购置日期：2008-03-01
- 型号： ZE500
- 生产国别：
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- 功能/应用范围： 晶元面处脱层,锡球、晶元、或填胶中之裂缝,晶元倾斜,各种可能之孔洞（晶元接合面、锡球、填胶…等）, 覆晶构装之分析
- 主要附件： 探头
- 主要技术指标： 扫描分辨率0.1微米.最小扫描范围为0.25mm*0.25mm
- 技术特色： 非破坏性、无损伤检测内部结构,可分层扫描、多层扫描,实施、直观的图像及分析,缺陷的测量及百分比的计算,可显示材料内部的三维图像,对人体是没有伤害的,可检测各种缺陷（裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞、晶界边界等）
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