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ZYGOGPI-XP6''光学测试仪
- 制造厂商：ZYGO公司
- 购置日期：1999-12-01
- 型号：GPI-XP6''
- 生产国别：美国
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- 功能/应用范围： 本仪器的测量技术是基于激光的三维光学相移干涉技术，可测量各种光学表面3D表面轮廓精密测量、平面度、粗糙度等，适用于各种材料，包括玻璃、晶体、抛光金属、陶瓷及塑料等，非接触式、无损检测。
- 主要附件： 1.HP715100系统控制器 2.条纹监视器 3.Zygo控制软件
- 主要技术指标： 1.测量范围:152毫米(直径)； 2.粗糙度测量重复精度:λ/10,000；
3.分辩率:优于λ/8,000(双光程)； 4.条纹分辩率:90条纹；
5.数字响应时间:低分辩率模式为140ms,高分辩率模式为260ms。
- 技术特色： ZYGO 是用光学干涉的方法测量平面加工的光洁度（粗糙度）和平面度，由计算机给出测量表面的三维图案的分析数据和曲线。最大测量范围为直径150mm。测量效果直观、可靠、统计分析完善。
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