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闳康技术检测(上海)有限公司闳康技术检测(上海)

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聚焦离子束显微镜

  • 制造厂商：FEI
  • 购置日期：2008-04-07
  • 型号：FEI QUANTA 200
  • 生产国别：
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： 1. 定点切割(Precision Cutting) 2. 穿透式电子显微镜试片制作 (TEM sample preparation) 3. 低阶IC线路修补和布局验证 (IC circuit editing and verification) 4. 制程上异常观察分析 (Abnormal process analysis) 5. 晶相特性观察分析 (Ion Channeling Contrast for Grain Morphology Observation) 6. 故障位置定位用被动电压反差分析 (
  • 主要附件： Source gun: Pt,XeF2,Br2,I2,SiO2
  • 主要技术指标： 加速电压；200-30KV;放大倍率；25-200K;高真空；6X10-4Pa;样品最大尺寸；200mm
  • 技术特色： 积多年实际操作经验