原子力显微镜 _{型号Dimension 3100}_极化材料与器件教育部重点实验室

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原子力显微镜

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仪器分类

功能/应用范围： (1) 薄膜样品表面形貌测试； (2) 磁力显微镜（MFM）； (3) 静电力显微镜（EFM）： (4) 扫描电容显微镜（SCM）； (5) 扫描扩展电阻显微镜（SSRM）； (6) 导电原子力显微镜（CAFM）；
主要附件：无
主要技术指标： (1) 薄膜样品表面形貌测试，观测样品表面起伏粗糙度，同时可以获得样品形貌的二维和三维信息，最大测试范围：90um×90um×6um；最大分辨率：0.2nm； (2) 观测室温下磁性材料表面磁畴分布； (3) 观测室温下样品表面的电场分布； (4) 实现掺杂密度（相对）的二维成像及定点C？？V谱检测，横向分辨率：15？？20nm；掺杂密度范围：1015？？1020 cm-3； (5) 实现电导率/电阻率成像和二维载流子分布成像，横向分辨率：15？？20nm；掺杂密度范围：1015？？1020 cm-3；
技术特色： (1) 薄膜样品表面形貌测试； (2) 磁力显微镜（MFM）； (3) 静电力显微镜（EFM）： (4) 扫描电容显微镜（SCM）； (5) 扫描扩展电阻显微镜（SSRM）； (6) 导电原子力显微镜（CAFM）；