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TFT用磁控溅射镀膜系统

  • 制造厂商：ULVAC,INC.
  • 购置日期：2010-09-17
  • 型号：SME-200E
  • 生产国别：日本
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： 可以沉积ITO、Al、Mo等薄膜
  • 主要附件：
  • 主要技术指标： 无
  • 技术特色： 无