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金属有机薄膜沉积系统

  • 制造厂商：沈阳市四达真空技术应用研究所
  • 购置日期：2008-12-04
  • 型号：*
  • 生产国别：中国
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仪器分类

全部

仪器详情
  • 功能/应用范围： 真空热蒸发方式制备多种薄膜。有机/无机/金属等薄膜沉积
  • 主要技术指标： 1 最多一次制备4片样品；2 最高真空度：5×10-5pa；3 带有电子枪。
  • 技术特色： 无